마이크로 압력형 직동식 감압 밸브는 출구 압력 1 kgf/cm² 이하의 초저압 조건을 위해 설계되었습니다. 대만의 한 반도체 공정 시설 프로젝트에서, 본 밸브는 질소(N₂) 공급 라인에 설치되어 민감한 공정에 필요한 정밀한 압력 제어를 제공했습니다.

프로젝트 개요

• 적용 분야: 대만 반도체 공정 시설의 질소 공급 시스템 (핵심 공정을 위한 초저압·고안정 출구 압력 요구)
• 적용 제품: 1" 스테인리스강 316 마이크로 압력형 직동식 감압 밸브와 1″ 스테인리스강 316 직동식 감압 밸브
• 요구 사항: 초저압 출구 압력을 높은 감도와 안정성으로 유지하여 질소 의존 공정의 정밀한 제어 보장

Z-Tide RELT-SLP 모델의 주요 특징 및 장점

• 대형 다이어프램 설계로 매우 민감하고 정밀한 압력 제어 실현
• 밸런스드 피스톤 구조로 유입 압력 변동에도 일정한 출구 압력 유지
• 상·하부 바디 모두 SS316 적용으로 우수한 내식성과 장기 내구성 확보
• 압력 설정 및 유지보수가 간편하며, 유지보수 키트 제공 가능

프로젝트 성과

Z-Tide는 마이크로 압력형 직동식 감압 밸브를 전문적으로 제조하는 대만의 전문 기업입니다. RELT-SLP 모델은 질소 시스템에서 안정적인 초저압 출구 압력을 제공하여, 정밀한 공정 제어, 신뢰성 높은 운전, 장기적인 내구성을 실현했습니다. 이를 통해 반도체 시스템의 최적의 성능과 안전성을 효과적으로 보장했습니다.

Z-Tide 마이크로 압력형 직동식 감압 밸브(RELT-SLP 모델)에 대해 더 알아보세요.